NanoFET basati su nanotubi di carbonio

Introduzione Introduzione Il gruppo presso cui ho svolto il mio lavoro di tesi si occupa di spettroscopia X ad alta risoluzione. La spettroscopia X ad alta risoluzione e`unpotentestrumentodi analisi utilizzato oltre che in campo scientifico anche in campo indus- triale per l’analisi dettagliata di materiali e processi produttivi. Uno dei maggiori utilizzatori della spettroscopia X ad alta risoluzione e` l’industria microelettronica. In conseguenza della crescente miniatur- izzazione dei componenti diventa di capitale importanza un controllo stringente dei processi di produzione e in particolare dell’introduzione di contaminanti a seguito delle varie fasi di lavorazione, dal momento che i microcircuiti sono estremamente sensibili a quantita` minime di sostanze estranee alla lavorazione. La possibilita` di utilizzare apparec- chiature di misura con una risoluzione dell’ordine dell’elettron-Volt o meno, consente di misurare non solo la presenza di certe sostanze ma anche il loro stato di legame permettendo di individuare in quale sta- dio del processo di produzione vengono introdotte: cos`ı si puo`inter- venire in maniera mirata sulle cause di inquinamento, migliorando con- seguentemente il rapporto costo-prestazioni dei ciruiti. Attualmente le tecniche disponibili si basano su due tipi di rivelatori: a dispersione di lunghezza d’onda e a dispersione di energia; le due metodologie, allo stato attuale della tecnologia, privilegiano l’elevata risoluzione a 1