INTRODUZIONE
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INTROUZIONE
La presenza lungo il territorio italiano di rilievi potenzialmente franosi
richiede un monitoraggio efficiente a mezzo di un sistema che consenta di
individuare in tempo utile l’eventuale instaurarsi di situazioni di criticità o di
allarme, al fine salvaguardare l’incolumità della popolazione, oltre che
l’integrità delle opere. Tali dissesti, infatti, possono insistere tipicamente su
centri abitati, insediamenti industriali e infrastrutture.
La combinazione di opere difensive atte a combattere il dissesto e di un
adeguato sistema di monitoraggio costituisce la soluzione ottimale per
affrontare il rischio frane. Il sistema di monitoraggio rappresenta, inoltre,
uno strumento essenziale per la comprensione dei meccanismi d’innesco-
riattivazione e, più in generale, della dinamica evolutiva di un versante
instabile.
Oltre alla misura di parametri ambientali significativamente influenti sulle
condizioni di stabilità dei pendii (precipitazioni, velocità e intensità del
vento, temperatura, pressione atmosferica, spessore dello strato di neve,
ecc.), un sistema di monitoraggio deve essere rivolto, soprattutto, al controllo
strumentale dei parametri specifici e delle grandezze fisiche associate ai
terreni in frana, quali spostamenti superficiali e profondi, accelerazioni
sismiche, contenuto d’acqua del sottosuolo, ecc.
Tra queste grandezze il monitoraggio degli spostamenti è particolarmente
significativo e comunemente adottato nei casi di frane attive, ma può fornire
informazioni molto utili anche in condizioni precedenti la rottura, qualora si
sviluppino spostamenti apprezzabili a livello strumentale. Infatti, la misura
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degli spostamenti consente di limitare superficie e volume del corpo di frana,
gestire il territorio a rischio di frana, assumere provvedimenti di emergenza.
Nel caso di spostamenti e rotazioni superficiali vengono impiegati sistemi
basati su metodi di rilevamento geodetico che impiegano stazioni totali, GPS,
fotogrammetria aerea, immagini satellitari. In particolare, negli ultimi anni,
nel rilevamento geodetico si è diffuso l’impiego di sensori inerziali a basso
costo. Ad esempio tale risorsa all’interno di veicoli aerei o terrestri è ad oggi
una risorsa largamente utilizzata in molte applicazioni della Geomatica: in
campo fotogrammetrico, e in particolar modo per scopi di direct georeferencing
o di obile apping, nella tecnica del laser-scanning aereo (LIDAR) e, più in
generale, nel campo del rilevamento geodetico.
Di particolare interesse risulta essere l’integrazione di questi sensori con i
sistemi di posizionamento satellitare GNSS.
Tali sensori di navigazione, ad esempio GPS, accelerometri o giroscopi
consentono di determinare la posizione e l’assetto di un oggetto in moto
attraverso la misura delle grandezze riconducibili ad una o più variabili della
navigazione tipicamente in un sistema di riferimento predeterminato. Per
fornire tali grandezze ad ogni istante di tempo occorre che i dati di misura
consentano di calcolare quelli che, in linguaggio scientifico, si chiamano
“stati della navigazione”, ovvero posizione, velocità e assetto negli istanti di
campionamento, oltre che, eventualmente, di prevederne il valore negli
istanti successivi.
Nella tesi viene illustrata la realizzazione di un sistema di monitoraggio degli
spostamenti superficiali di un rilievo franoso costituito da sensori
accelerometrici a tecnologia MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) ad
alta risoluzione, un’unità di elaborazione e un sistema di trasmissione dati.
I movimenti franosi oggetto del monitoraggio possono interessare anche solo
la coltre superficiale, ossia uno spessore non superiore a un metro.
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Da un punto di vista della tipologia della frana, la cinematica del movimento
franoso deve essere non estremamente lenta, altrimenti la strumentazione
impiegata non è in grado di rilevare il movimento. Sotto queste ipotesi, un
elemento rigido immesso nel terreno del rilievo franoso alla profondità
massima di un metro, viene trascinato dal movimento franoso eseguendo un
moto rototraslatorio. In conseguenza di questa particolare configurazione
dinamica che caratterizza la coltre superficiale del rilievo franoso, diviene
significativo, dunque, monitorare l’inclinazione della testa dell’elemento
rigido, in quanto la variazione nel tempo di questa grandezza è
rappresentativa dello stato cinematico della porzione di versante franoso in
cui è infisso.
Per quanto sopra esposto, il sistema di monitoraggio impiegato consiste in
una rete di inclinometri fissati sulla testa di un elemento rigido infisso nel
terreno e distribuiti sulla superficie. A tal fine i sensori accelerometrici
triassiali possono fungere da inclinometri dato che sono in grado di misurare
anche accelerazioni statiche, quale quella di gravità.
La tecnica di sensori MEMS per il monitoraggio dei versanti franosi presenta
le seguenti caratteristiche:
• si pregia di un alto grado di versatilità nelle modalità e nelle
caratteristiche di acquisizione e elaborazione dei dati;
• presenta un basso costo dei componenti e una notevole semplicità di
installazione, il che consente di aumentare il numero dei punti misura
senza far lievitare i costi del sistema e della sua installazione;
• consente la pre-elaborazione dei dati in loco su singola unità funzionale
UF. Tale aspetto, in virtù della conseguente riduzione dell’onere
computazionale della unità di amministrazione dati, UAD, consente la
possibilità di moltiplicare il numero dei punti misura utili a ottenere un
modello quanto più realistico della struttura monitorata, senza inficiare
l’efficienza di elaborazione dati;
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• è costituito da unità funzionali (UF) alimentate a batteria, sicché, una
volta installato, opera in completa autonomia per circa un anno (dopo di
che è necessario operare un cambio batterie perché il funzionamento
continui correttamente);
• consente di realizzare un monitoraggio del rilievo franoso che è efficiente
e, allo stesso tempo, di interesse geofisico, dato che, durante tutto il
tempo in cui è attivo, si raccoglie una banca dati di estremo interesse e
utilità al fine di seguire la componente a cinematica lenta dell’evoluzione
dello stato del rilievo franoso, oltre che eventuali derive a cinematica
veloce potenzialmente pericolose.
Questo lavoro di tesi si inserisce in una collaborazione scientifica avviata con
la Società STRAGO s.r.l., fornitrice di quattro unità MEMS di cui una unità
master e tre sensori di tipo “slave”.
In tale ambito, il primo obiettivo riguarda lo studio della precisione dei
sensori accelerometrici MEMS.
In particolare in questo lavoro sono presentati, in una prima parte, test di
calibrazione e affidabilità dei sensori al fine di stimare la precisione delle
osservazioni al variare dei valori di frequenza, dei valori del fondo scala e
della temperatura, nonché di stimare i valori degli errori sistematici e
accidentali. Viceversa, in una seconda parte, sono presentati i risultati di
elaborazioni e analisi degli stati di navigazione di una rete di unità funzionali
installata in una prima applicazione pilota, su un costone in frana
prospiciente la stazione di Castellammare di Stabia della Società
Circumvesuviana di Napoli. In particolare per serie mensili di dati di
osservazioni sono stati stimati i valori delle inclinazioni dei sensori e, quindi,
dei loro spostamenti planimetrici.
In generale sviluppi futuri del predisposto programma di ricerca sono:
• Studio di un “cluster”di sensori per il fitraggio del rumore;
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• Modalità di monitoraggio real time attraverso l’analisi di serie
temporali di lungo periodo dell’impianto di monitoraggio già
realizzato;
• Confronto della tecnica di misura MEMS con la strumentazione
geodetica tradizionale.
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TECNICA MEMS: PRINCIPI DI FUNZIONAMENTO
1. Introduzione alla tecnologia
I MEMS – Micro Electro Mechanical Systems - si definiscono
tipicamente come dispositivi microscopici progettati, assemblati e utilizzati
per interagire e produrre modificazioni in un particolare ambiente di ridotte
dimensioni. In un MEMS uno stimolo di tipo meccanico, elettrico o chimico
può essere utilizzato per generare una risposta meccanica, elettrica o chimica.
La nascita dei MEMS risale agli anni 50, insieme con la scoperta dei
semiconduttori presso i Bell Laboratories (negli Stati Uniti d’America). L’uso
del termine MEMS nasce però più tardi, negli anni 90 negli Stati Uniti (prima
si parlava di micromachining su silicio) e definisce la tecnologia, non gli
specifici prodotti. Questa tecnologia comprende un insieme piuttosto vario di
processi che consentono di modellare sulle tre dimensioni uno o più wafer di
silicio.
Come accennato, il silicio è il materiale più utilizzato ma sono stati impiegati
anche wafer di vetro e di quarzo.
Il funzionamento di un MEMS si può descrivere considerando il circuito
integrato come il "cervello" del sistema che rende possibile il monitoraggio
dell'ambiente circostante tramite gli altri dispositivi presenti sullo stesso
chip. In questo modo il sistema raccoglie le informazioni misurando
fenomeni meccanici, termici, biologici, ottici e magnetici; l'elettronica elabora
le informazioni derivate dai sensori e reagisce abilitando gli attuatori a
rispondere tramite movimenti, posizionamenti, filtrazioni, pompaggi o anche
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riverificando, tramite gli stessi sensori, le variazioni avvenute nell'intervallo
di tempo nell'ambiente circostante.
Si ha ,quindi, un sistema in grado di captare informazioni dall'ambiente, di
prendere decisioni e, infine, di attuare le azioni opportune. I sensori possono
misurare fenomeni di varia natura: meccanica, termica, biologica, chimica,
ottica, magnetica. Le tecnologie MEMS promettono di rivoluzionare intere
categorie di prodotti proprio per il fatto di integrare in uno stesso dispositivo
le funzioni più diverse: un minuscolo chip di silicio diventa ora un sensore di
pressione, ora un accelerometro, ora un giroscopio e così via.
I MEMS, dispositivi più piccoli e più sofisticati, in grado di agire, “sentire” e
comunicare, stanno gradualmente sostituendo le loro controparti di
dimensioni standard in molte applicazioni tradizionali. I vantaggi dei MEMS
comprendono un minore consumo energetico, migliori performance
(specifiche per ciascuna applicazione), peso ridotto e costi inferiori rispetto ai
dispositivi tradizionali. Inoltre la fabbricazione in serie riduce i costi di
produzione e di assemblaggio, mentre dimensioni e peso ridotti, oltre ad un
minore consumo energetico, migliorano la flessibilità nella progettazione di
sistemi. Molti componenti MEMS, infatti, possono essere utilizzati in serie o
in parallelo per migliorare le funzionalità, le caratteristiche e l’affidabilità dei
dispositivi.
Nel corso del tempo sono stati sviluppati diversi processi per fabbricare
strutture meccaniche. Le tre principali categorie di questi processi sono le
seguenti:
• Micro-lavorazione del wafer di silicio;
• Micro-lavorazione superficiale;
• Incisione ionica profonda.
Un ruolo fondamentale è assunto dal packaging, dove si intendono i
processi, l’industria e i metodi per “racchiudere” i componenti e i sistemi
microelettromeccanici all’interno di un involucro protettivo. Il “packaging”,
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combinando l’ingegneria con le tecniche di produzione industriale, converte
un insieme di componenti microelettromeccanici in un insieme dotato di
funzionalità complesse, in grado di interagire in maniera sicura ed affidabile
con l’ambiente circostante.
1.1. Classificazione delle tipologie costruttive
I componenti MEMS attualmente in uso o in fase di sviluppo possono
essere classificati secondo le seguenti quattro macro-categorie:
• Sensori e attuatori;
• MEMS RF;
• MEMS ottici ed optoelettronici;
• MEMS microfluidici e Bio MEMS.
Nel’ambito del lavoro di tesi, verranno affrontati solamente gli accelerometri
MEMS a sensori inerziali con trasmissione dati in modalità wireless.
I sensori rappresentano una classe di MEMS progettata per rilevare i
cambiamenti e interagire con l’ambiente circostante; possono essere chimici,
di movimento, inerziali, termici e ottici.
Gli attuatori costituiscono un gruppo di dispositivi progettati per fornire
energia o stimoli ad altri componenti o ad altri MEMS e sono tipicamente
guidati per mezzo di stimoli termici o elettrostatici.
I MEMS RF rappresentano un gruppo di dispositivi utilizzati per trasmettere
segnali radio ad elevata frequenza. Tipicamente si impiegano interruttori a
contatto metallico, condensatori regolabili, antenne ecc.
I MEMS ottici sono dispositivi progettati per dirigere, riflettere, filtrare e/o
amplificare la luce; possono essere interruttori ottici oppure riflettori. Si sta
lavorando nella direzione di una loro sempre maggiore integrazione
all’interno di dispositivi optoelettronici.
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I MEMS microfluidici sono dispositivi progettati per interagire con ambienti
in cui siano presenti dei fluidi: pompe e valvole progettate per muovere,
espellere e mescolare volumi di liquido particolarmente ridotti. Tali
dispositivi sono progettati specificatamente per interagire con campioni
biologici quali proteine, cellule, reagenti ecc. sono detto bioMEMS e possono
essere impiegati per analisi mediche in-situ e altre applicazioni.
1.1.1. Sensori
I sensori basati sulla tecnologia MEMS presentano una gamma di
applicazioni molto ampia, dai sensori inerziali e di movimento a quelli
biologici e risultano particolarmente adatti in tutti quegli ambiti dove le
tecnologie tradizionali tendono a fallire a causa delle caratteristiche
dell’ambiente circostante, delle limitazioni a livello di sistema o per problemi
di progettazione o dimensioni.
I dispositivi basati sulla tecnologia MEMS svolgono un ruolo strategico sia
dal punto di vista strumentale che da quello economico nel mondo dei
sensori, soprattutto grazie alle loro possibili applicazioni per la misurazione
di grandezze fisiche. I principali sensori basati sui MEMS sono i seguenti:
• Sensori di pressione: i MEMS rappresentano il 90% delle unità vendute nel
mondo e il 50% dei profitti;
• Sensori di accelerazione: i MEMS rappresentano oltre il 95% delle unità
vendute e il 25% dei profitti;
• Sensori di velocità: i MEMS rappresentano il 95% delle unità vendute e il
75% dei profitti;
• Sensori di forza: i MEMS rappresentano il 20% delle unità vendute e il 5%
dei profitti.
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1.1.2. Principio di funzionamento dell’ accelerometro MEMS
Un accelerometro è uno strumento che in linea di principio misura la
forza di reazione vincolare con cui un veicolo agisce su una massa “m” per
mantenerla a sé legata nel movimento. Nella sua configurazione più
elementare un accelerometro è costituito da uno chassis che vincola la massa
“m” a muoversi solo lungo l’asse x e da una molla che lega “m” allo chassis.
Figura 1.1 - Schema di un accelerometro a molla
All’interno del sensore è presente una massa campione nota m sospesa
all’interno di un molla di costante elastica nota K; la massa m si muove a
causa della sua inerzia e va a sovrapporsi alle 4 placche metalliche in
modalità dipendente dal verso e dall’intensità della forza F applicata, come
conseguenza dell’inerzia.
La capacità elettrica relativa ad ogni placca sarà quindi funzione dello
spostamento di m (x) e, quindi, del valore di F; in particolare applicando la
seconda legge di Newton e la legge di Hooke’ s:
Dalla misura della capacità, ricaviamo x dal quale otteniamo l’accelerazione.
Si supponga ora che vi sia un sensore tale che non appena “m” tende a
muoversi ne misuri lo spostamento e con un servomeccanismo imprima lo
spostamento opposto alla parete del veicolo, a cui è vincolata la molla. In tal
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caso, “m” sarebbe riportata quasi istantaneamente alla posizione iniziale, in
modo tale che in definitiva “m” riesca a rimanere immobile mentre sarebbe
la reazione della molla a cambiare. La misura della tensione della molla
risulta essere comunque proporzionale alla forza specifica che agisce su “m”,
lungo l’asse di x. Naturalmente, affinché un tale meccanismo abbia senso,
occorre che il circuito di reazione e i tempi dell’azione del servomeccanismo
siano assai piccoli rispetto al tempo in cui il movimento di “m” risulta
percepibile per il sensore, ma questa è una realtà tecnologicamente
accessibile ed oggi implementata nei vari accelerometri.
Le prestazioni delle varie tipologie di accelerometri sono usualmente
descritte dalla stabilità del bias e del fattore di scala.
Nota. Se si immagina di porre un accelerometro su un piano soggetto al
campo di gravità, allora si nota che la massa interna dell’accelerometro viene
attratta verso il basso rispetto alla posizione di equilibrio. Quindi, l’output
dell’accelerometro legato alla gravitazione è di segno opposto rispetto
all’accelerazione locale. L’output dell’accelerometro (accelerazione meno
gravità) è detta forza specifica, ed è data da:
ove a è l’accelerazione rispetto al sistema di riferimento inerziale e g è
l’accelerazione di gravità.
1.2. Definizione di un sistema di riferimento
Un sistema di riferimento spazio-temporale è definito come quella legge
che ad ogni istante assoluto t assegna un sistema di riferimento spaziale.
Il sistema di riferimento porta con sé anche un sistema di coordinate, ovvero
una regola che fa corrispondere biunivocamente punti dello spazio con una
terna (x1, x2 , x3 ) di numeri reali.
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Naturalmente è sempre possibile passare dalla scelta di tre coordinate (x1, x2,
x3) ad altre tre (y1, y2, y3) purché queste siano in corrispondenza biunivoca
con le precedenti: questa operazione è puramente matematica e non modifica
gli elementi materiali che individuano il sistema di riferimento.
Un sistema di riferimento spaziale classico è costruito da un insieme di piani,
direzioni e punti materiali, da regole di misura di angoli e distanze, incluse le
rispettive unità di misura, e dalle regole euclidee per le costruzioni
geometriche oltre che da una scelta di coordinate dei punti dello spazio.
Un sistema di riferimento inerziale è un sistema di riferimento in cui ogni punto
materiale, sottratto a tutte le forze esterne, resta in quiete o si muove di moto
rettilineo uniforme. Che un tale sistema di riferimento esista è un postulato
galileiano che va sotto il nome di prima legge fondamentale della dinamica.
Ciascun corpo persevera nel suo stato di quiete o di moto rettilineo uniforme, a meno
che sia costretto a mutare tale stato da forze impresse (esterne).
Nella letteratura geodetica è, in realtà, comune la consuetudine di
distinguere tra sistema di riferimento teorico e frame, considerato come una
materializzazione del sistema di riferimento su cui, successivamente eseguire
misure e elaborazioni.
1.2.1. Frame comuni in navigazione inerziale
La materializzazione di un sistema di riferimento, in particolare di un
sistema di tipo inerziale, non sempre può avvenire per semplice
assegnazione di coordinate ed elementi materiali, ad esempio, punti in moto
rettilineo uniforme: poiché infatti i punti appartenenti ad un sistema di
riferimento in generale possono non muoversi tutti con le stesse velocità, il
sistema di riferimento subirà sempre una rotazione rispetto al sistema
precedente e di tipo non uniforme nelle tre direzioni.