Diagnostica e modellizzazione di un plasma freddo di SF6 per applicazioni industriali

PREVIEW Le ricerche sui plasmi generati nelle scariche a gas sono di grande interesse nelle applicazioni industriali. In funzione del tipo di gas utilizzato per la produzione del plasma, differenti processi come deposizione di film sottili, etching, polimerizzazione e attivazione possono produrre modificazioni degli strati superficiali dei materiali trattati. In particolare un plasma di Esafluoruro di Zolfo ( 6 SF ) possiede alcune caratteristiche che lo rendono adatto per processi quali l’attivazione e la polimerizzazione di superfici. Presenta una relativa abbondanza di fluoro (liberato in forma radicale dagli elettroni del plasma) dovuta alla bassa energia di legame S-F nella molecola 6 SF (4.1 eV) rispetto all'energia di ionizzazione (15.3 eV). Inoltre ha una bassa propensione a polimerizzare e, quindi, a formare depositi di fluoruri di zolfo sulle superfici a contatto con il plasma. Lo scopo di questa ricerca consiste proprio nell’analisi sperimentale e numerica di un plasma di 6 SF per l’attivazione e la polimerizzazione dei materiali. Le tematiche affrontate in questa ricerca sono suddivisibili in tre categorie: • studio e caratterizzazione dei parametri del plasma di 6 SF e dei sistemi di controllo della scarica; • studio dei modelli di plasma e loro verifica sulla base delle osservazioni sperimentali;